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製品一覧
精密レギュレータPR100
●小形精密レギュレータ、0.001Ｍｐａの感度で圧力を極め細かく設定可能。
精密レギュレータPR200
●高精度の圧力調節を小形サイズで実現したシングルダイヤフラム方式。
精密ステンレスレギュレータPRS
●液晶、半導体関連プロセスでの各種溶剤、純水回路中のキャリアガス、ブロー圧力、クリーンエア、ガスの圧力制御などを高精度（感度0.001MPa）に設定可能。