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製品一覧
ACサーボ駆動CT/PT/HTポンプ
●均一な薄膜塗布が要求される液晶、ＰＤＰ、有機ＥＬ等のスリットコーターに対応する電動ポンプ。高信頼の構造をさらに進化させて定流量性制御が可能。
電動高耐圧ポンプF-EPH
・高精度定量吐出性能と高精度定流量性能に高耐圧をプラスしました。脈動の少ないレジスト塗布が可能です。スリット塗布に最適な性能を実現しました。
電動RTポンプ
●新開発のＲＴ構造を採用し、チューブフラムでありながら高い応答性を実現したポンプ。使用流体：フォトレジスト、純水、薬液（可燃性物質不可）
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エンドレスポンプ
スリットノズルで長いフィルムに連続的に塗布する用途や、多くの容器にハイサイクルかつ高い精度で充填する用途に最適です。